美高梅4858_美高梅官方网站-欢迎您

美高梅官方网站
美高梅官方网站美高梅官方网站
美高梅官方网站
  产品展示  
  推荐资讯
美高梅官方网站

 美高梅4858      

 电话:(+86) 0917-3905959

 传真:(+86) 0917-3902559

 手机:(+86)15009172820 (李女士)

 邮箱:bjlongshengtaiye@163.com

 网址:www.lstianode.com

 地址:宝鸡市高新开发区永清工业园17号

美高梅官方网站 当前位置美高梅4858>>企业资讯>> 金属靶块与箔材   
隆盛钛业 --- 美高梅官方网站专业生产商、供应商 

钛铝靶块

美高梅官方网站 文章分类金属靶块与箔材 添加时间2018-11-23 16:56:53 文章点击数7965
摘要:钛铝靶块,钛冷却管,美高梅官方网站,钛电极,钛阴极,DSA美高梅官方网站,美高梅官方网站管,美高梅官方网站网,美高梅官方网站板,美高梅官方网站丝,美高梅官方网站带,MMO阳极,美高梅官方网站组件,钛镀铂金阳极,美高梅官方网站涂钌铱,钌铱网,钛钌网,水处理阳极网,铱钽涂层阳极,制氢美高梅官方网站板,电解金属美高梅官方网站板,电镀金属美高梅官方网站,美高梅官方网站网蓝,美高梅官方网站棒,污水处理美高梅官方网站,析氯美高梅官方网站,析氧美高梅官方网站,镍电极,镍板条,镍板槽,铝型材电泳着色用镍板,铝型材氧化着色用镍板条,镍板,镍棒,镍网
 分享:
更多
 
钛靶的主要性能要求
 
  纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应
 
用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”,
 
8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%
 
的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要99.999%
 
甚至99.9999%。
 
  杂质含量
  
    靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同
 
杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元
 
素含量都有特殊要求。
 
 
  密度
  
    为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的
 
密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。
 
此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键
 
性能指标之一。
 
  晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
  
   通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅
 
射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的
 
厚度分布更均匀。
 
字体: 【打印】 【关闭本页】
上篇资讯    钛靶块
下篇资讯   已经没有了
相关推荐  
金属靶块与箔材  
推荐信息  
 

《中华人民共和国电信与信息服务业务经营许可证》编号: 陕ICP备15013100号

  企业地址:陕西省宝鸡市高新开发区永清工业园17号

  技术支撑:久联环网络科技        

隆盛技术支撑:(+86)13992720966
业务电话:(+86) 0917-3905959
企业传真:(+86) 0917-3902559

 
钼导流筒,真空炉加热室,真空炉炉胆,钼坩埚,钨钼生产厂家,钼板,钨板,钼重锤,钨坩埚
XML 地图 | Sitemap 地图